•Enddruck (Ultimatives Vakuum) : < 0,03 mbar (< 2 x 10⁻² Torr). •Kühlung : Direkte Wasserkühlung; optional ist ein indirektes Kühlsystem verfügbar. Online-Streitbeilegung gemäß Art. 14 Abs. •Kühlung : Wasserkühlung mit einem Durchfluss von 8 l/min bei 20 °C.
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